依据《上海市节水举动实施方案》(沪水务〔2019〕1394号)和《关于展开2023年上海市工业水重复使用及雨水归纳使用事例评选活动的告诉》(沪水务(海洋)工会〔2023〕12号)的有关要求,上海市水务局(上海市海洋局)工会、上海市节约用水办公室、上海市供水办理业务中心安排而且展开了2023年上海市工业水重复使用及雨水归纳使用事例评选活动。经评定委员会归纳考评,报活动领导小组审阅承认,上海华力微电子有限公司“收回水体系源头节水使用项目”荣获工业水重复使用优异事例一等奖。
上海华力微电子有限公司(以下简称“华力微”)成立于2010年,建有一条12英寸集成电路芯片制作出产线英寸集成电路芯片出产线,华力微开发完结了多项具有自主知识产权的特征工艺技术,向客户供给芯片代工服务。
华力微分外的注重节水作业,于建厂规划之初就考虑并规划建造了各种收回水体系,干流节水办法均在建厂期间同步完结建造。
无机废水经搜集后经过活性炭吸附处理收回水中的TOC及悬浮物,经过阴阳树脂塔去除水中的阴阳离子,下降水的电导率后回到超纯水制备的前处理中,用于从头制备超纯水。
有机废水经搜集后经过生物处理法去除水中的TOC,经过多介质过滤器去除水中的悬浮物,处理合格后的有机收回废水用于废气洗刷塔、冷却塔、废污水处理药品调理体系。
一级反渗透浓水经过反渗透处理工艺将RO浓水搜集处理后回用至前处理体系,用于从头制备超纯水。
华力微从始至终坚持可继续展开的理念,致力于展开与环境保护同步、出产与污染防治并重。项目总出资2300万元,每天节水量约2400立方米,出资收回期短,有较好的使用远景。华力微将用水水表和要点用水单元归入动力中控FMCS办理体系,对厂内的水耗实时监控,为运转优化操控及节水挖潜供给有力支撑。一起继续展开节水技改作业,并经过工艺、动力设备正常运转参数优化等,不断发掘节约用水潜力。
华力微积极展开水平衡测验、用水审计及水效对标,并展开节水型企业创立,2022年获评上海市节约用水演示(标杆)企业。近五年单位产品用水量呈下降趋势,单位产品用水量优于职业用水定额先进值,工业水重复使用率到达96.9%。
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